SG-863XB晶圓檢測顯微鏡(研究級)

一、產品用途

　  SG-863XB正置檢測顯微鏡廣泛的應用于透明，半透明或不透明物質，比如金屬陶瓷、電子芯片、印刷電路、LCD基板、薄膜、纖維、顆粒狀物體、鍍層等材料表面的結構、痕跡，都能有很好的成像效果。

二、產品特點

1. 采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統的物鏡成像技術。

2. 拓展了物鏡的復用技術，無限遠物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質量。

3. 采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度。

4. WF10×/Φ25mm超大視野目鏡，長工作距離明暗場金相物鏡。

三、技術規格

1. 光學系統：無限遠校正光學系統

2. 觀察頭：30°鉸鏈式三目，瞳距50mm-75mm

3. 平場目鏡：WF10×/25mm

4. 平場無限遠長工作距離金相物鏡

5. 轉換器：內定位五孔轉換器

6. 工作臺尺寸：352mm×310mm，移動范圍：250mm×250mm 

7. 調焦機構：粗微動同軸，范圍36mm，微動0.002mm 

8. 光源：垂直照明，帶孔徑光欄和視場光欄，鹵素燈12V100W，AC85V-230V亮度可調節

          透射光，12V100W鹵素燈照明，亮度可調

9. 偏光裝置：檢偏鏡可360度轉動，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路

10. 適配鏡：直徑59mm,放大倍率0.5倍  ，內調焦距0～3mm  調焦后可鎖緊

11. 顯微鏡工業相機：圖像采用Sony COMS傳感器,像素630萬;芯片靶面：1/1.8"；像素:2.4x2.4(μm);圖像采集速度:15@3072x2048,26@1536x1024；G光靈敏度：0.15mv-425mv;曝光時間: 0.244ms-2s；光譜響應范圍：380-650nm(有紅外截止濾光片情況下)；掃描方式:逐行掃描；快門:電子快門；數據接口:USB3.0；白平衡:ROI 白平衡/手動調整.

12. 軟件功能：圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能，可以對所攝圖像進行文字編輯，比例尺顯示；超景深擴展；長度，角度，弧長測量；點，線，平行線，垂直測量；圓、橢圓測量；矩形，不規則形狀的周長、面積、重心位置等幾何參數量。

四、標準配置

1. 檢測顯微鏡/1臺    

2. 觀察鏡筒/1只（在主機上）

3. 10×目鏡/1對（在主機上）   

4. 無限遠長工作距離物鏡5×、10×、20×、50×、100×/各1只（在主機上）   

5. 0.5×專用適配鏡/1只

6. YH-630顯微鏡工業相機/1只（630萬）

7. 0.01mm校準尺/1片

8. 移動工作臺/1只（在主機上）

9. 12V100W鹵素燈/2只

10. 插板式濾色片（綠、蘭、中性）/1組

11. 產品合格證、保修卡及說明書/1份