一、產(chǎn)品簡介
SG-9500XM硅片檢查顯微鏡主要用于太陽能電池硅片的觀察。太陽能檢測顯微鏡能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強，成像較清晰視野寬闊，配置有長工作距離物鏡，并具有較大的視場范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù), 配有高像素的工業(yè)相機,可以清晰的看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析，是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。單晶硅檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的大陽能晶體硅片檢測、位錯、劃痕、崩邊等；還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括: 顆粒、有機雜質(zhì)、無機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，會使磨片后的硅片易于發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格。顯微檢測幾乎是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中必不可少的檢測儀器之一。
二、產(chǎn)品特點
1.采用柯拉照明系統(tǒng)，配置優(yōu)良的長工作距平場消色差物鏡與大視野物鏡，可提供卓越的光學(xué)性能；
2.產(chǎn)品主體采用“T”型防振結(jié)構(gòu)設(shè)計使儀器更加穩(wěn)固，適用于大試樣的顯微觀察 ；
3.采用12V30W鹵素?zé)粽彰鳎炼瓤烧{(diào)），不僅能明視場觀察，還能對偏光觀察提供清晰鮮明的顯微觀察象；
4.產(chǎn)品造型美觀，操作方便，是金屬學(xué)、精密工程學(xué)、電子學(xué)等研究的理想儀器。
三、技術(shù)規(guī)格
1.光學(xué)系統(tǒng)：采用無限遠(yuǎn)效正光學(xué)系統(tǒng)。
2.目鏡筒:三目鉸鏈?zhǔn)剑?0 ?傾斜,瞳距55-75mm，可100%通光攝影。
3.平場目鏡:帶膠眼罩WF10X/22目鏡，屈光度±5°可調(diào)
4.無限遠(yuǎn)長距平場物鏡
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放大倍數(shù) |
數(shù)值孔徑 |
工作距離（mm） |
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PL L5X |
0.10 |
29.4 |
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PL L10X |
0.25 |
16.0 |
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PL L20X |
0.40 |
10.6 |
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PL L50X |
0.55 |
5.1 |
5.轉(zhuǎn)換器:四孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位)
6.調(diào)焦機構(gòu):粗微動同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微調(diào)0.0002mm
7.載物臺,尺寸:180mm×150mm ,移動范圍:橫向(×)75mm,縱向(Y)50mm,帶玻璃平臺。
8.聚光鏡:采用燕尾導(dǎo)軌齒輪齒條傳動升降，NA.1.25 阿貝聚光鏡帶可變光欄和濾色片
9.照明系統(tǒng):落射科勒照明，帶孔徑可變光欄和視場可變光欄，透射照明12V30W.AC85V230V亮度可調(diào)
10.偏光裝置：檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動，起偏鏡檢偏鏡均可移出光路
11.濾色片:磨砂玻璃、藍(lán)色濾色片、黃色濾色片、綠色濾色片
12.適配鏡：直徑：59mm,放大倍率：0.5倍 ，內(nèi)調(diào)焦距：0～3mm 調(diào)焦后可鎖緊
13.顯微鏡工業(yè)相機：圖像傳感器 1/2.5" 彩色500萬CMOS；像素點尺寸：2.2μmx2.2m；分辨率：2592 x 1944；幀率：5fps全分辨率；靈敏度：1.4V/lux- sec(550nm)；自動曝光控制: 8μs-375ms；信噪比: 44dB；掃描方式:逐行掃描；快門:電子快門；數(shù)據(jù)接口:USB2.0, 480Mb/s；白平衡:一鍵白平衡。
14.軟件功能：圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能，可以對所攝圖像進(jìn)行文字
15.編輯，比例尺顯示；超景深擴展；長度，角度，弧長測量；點，線，平行線，垂直測量；圓、橢圓測量；矩形，不規(guī)則形狀的周長、面積、重心位置等幾何參數(shù)量。
四、配置清單
1.檢查顯微鏡 一臺
2.WF10×高眼點平場目鏡 一對
3.長距平場消色差物鏡:5×、10×、20×、50× 一只
4.鹵素?zé)?2V/30W 二只
5.濾色片（黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃） 一組
6.專用適配鏡 一只
7.YH-5001像素工業(yè)相機 一只
8.校準(zhǔn)尺0.01mm 一片
9.偏光裝置 一套
10.產(chǎn)品說明書，合格證及保修卡 一份
